发布时间：2022年03月

随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电学性能（如电流、电压、阻抗等）时配有显微镜的高精度探针台能够提供良好的电测环境。通过显微镜和CCD将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进行扎针再外接电学测试仪表进行测试和分析。此外，对于一些怕氧化、需要保存在真空中、即便在电学测试的过程中也需要置于真空环境中的器件，室温真空探针台是这种样品测试的不二选择。

      室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

      样品座可以进行XY二维±50mm的移动，避免测试过程中探针臂移动幅度过大，切换测试样品便捷。

      样品座和探针臂的位移调节均在真空腔外操作，因此可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。

      真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。

      探针臂采用三同轴接头和同轴线缆，漏电性小，漏电流在100fA以内。

      系统组成

      标准配置

      室温真空腔

      真空腔容积9L，通过O圈密封，真空度能够达到10-5 mbar

      可视窗口直径100mm，可以通过显微镜观察样品扎针情况

      真空腔为铝制材料，能够有效减小测试时外界噪声对电测的干扰，提高测试的精确度和稳定性

      带有6个探针臂接口

      样品座

      样品座大小为4英寸，可容纳最大4英寸样品

      样品座可以在X、Y两个维度进行±50mm位移调节，在换样扎针时可大幅度减小探针臂比的调节幅度

      标配4个直流探针臂，可以X、Y、Z三个维度进行位移调节配合样品座的位移，可以真正实现在4英寸样品上任意位进行扎针，最大能够扎到1英寸的样品

      样品座和探针臂的位移调节均在真空腔体外部操作，因此可以在不破坏真空的情况下，切换样品座上的不同器件进行测试，非常方便

      探针臂

      标配4个直流探针臂，匹配阻抗50欧姆，能够升级为射频探针臂

      探针臂上装有SMA接头，便于接线的通断；探针臂可以90度抬起，避免换样时样品与探针臂干涉

      探针可通信号频率范围直流到50MHz，通过弹簧压紧固定，拆装非常方便

      探针臂采用三同轴接头和同轴线缆，通过泰克4200在真空下1V激励测试，漏电流在100fA以内

      探针臂可以XYZ三轴移动，X轴行程±15mm，Y轴±10mm，Z轴行程±6.5mm，移动精度为10um

      光学系统

      光学系统包括显微镜、显微镜支架、CCD相机和显示屏等组件构成，可以对待测样品观测并放大，在显示屏上呈现。

      显微镜带有LED环形光源，配合CCD相机，可以将待测器件放大10~180倍

      CCD相机分辨率3800万像素，有拍照、录像等功能，可以将照片、视频通过数据线传输到电脑端

      最小可视分辨率可达3um以内，与市面上最先进的探针台光学系统相当，测试方法采用1951分辨率测试靶

      探针台联用电测仪表

      M81同步源测量系统

      M81同步源和测量系统提供直流、交流源及其测量能力，以表征材料和器件在低温、室温和高温环境中的性能。为先进的测量应用提供一种有效且直接的方法。M81旨在消除多功能的仪表设置的复杂性，将直流和交流源与直流和交流测量相结合，并包含锁相功能，拥有相当高的灵敏度和测量能力。

      M81：一种创新的仪器结构，已提供同步直流，交流和混合直流+交流的低电平源测，可设置交流频率高达100KHz。

      特点：

      电流源、电压源模块可给直流、交流、三角波、方波等各种波形的信号；电流激励范围：pA~100mA，电压激励范围：nV~10V

      测试模块有直流、交流、锁相三种测试模式，满足不同的应用需要；电流测量范围：pA~100mA，电压测量范围：nV~10V

      单一源模块可以混合直流、交流激励，因此可以满足需要DC+AC混合信号的复杂测试

      专属软件MeasureLink 可以满足根据需要的自定义测试序列、循环等，还可以生成I-V等测试曲线，功能灵活强大。

      可以搭配探针台、低温恒温器等测试平台使用

      独特的实时采样架构，用于同步源和测量

      专为科学研究级低电平测量应用而设计

      直流高精度和交流的高灵敏度监测

      独特、灵活的仪器/分布式模块化架构

      MeasureReady155精密I/V源模块

      当需要激励电压10V以上时，可以选配155，其激励电压最大到100V

      探针台选件

      探针

      Adgarde提供钨和铍铜两种材质的探针，其中钨探针更耐用，适合各种不同的接触面，硬度好，能刺穿氧化层；铍铜探针接触电阻更小，适用于和镀金电极的接触。

      样品座

      Adgarde提供各种类型的样品座可选，见下表：

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途