PSM-PM-4室温手动有磁探针台

随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电性能或磁性能，就需要有一种高精度探针座，通过显微镜将被测元件放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接测试主机进行测试和分析。

      Adgarde 室温磁场探针台（PSM-PM-4）为样品材料在磁场下提供一个测试环境，外部连接测试主机可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。还可以在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。

      稳定的双位移调节系统

      1.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。

      2.探针臂底座采用螺钉固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置。

      极小的漏电性

      1.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性 小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆， 避免杂乱的走线

      2.探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电

      霍尔测量便捷易操作

      1.无需将线连接到样品上（在传统霍尔测量系统 需连接），就可以探测直径高达51mm的完整或者部分晶片，无需再将晶片切成块状结构。

      独特的配置

      样品台

      光学系统样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下 CCD最大放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高， 面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的超大移动行程，使得样 使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和 品测试和换样更加便捷；样品座本身可以进行三个轴上 非工作两种摆放位置。 （X-Y-Z）的精细调节，配合探针臂的移动，可以使得四个 探针扎到样品的任意位置；样品座外层镀金，电导率性能  光学系统 好；多孔吸附，对各种形状的样品固定都非常稳定，同时  显微镜放大倍数 10-180倍 又不会造成对测量的干扰。

      光学系统

      CCD最大放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高，使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和非工作两种摆放位置。

      探针臂

      探针臂底座采用螺钉固定，避免了真空吸附在不开启真空泵既无法固定的问题，同时探针臂可以在X-Y-Z三个轴上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置，探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线。

      永磁铁组件

      永磁铁组件包括永磁铁、永磁铁前后运动电机控制装置、 永磁铁的翻转装置和磁场中心位置定位激光点。 永磁铁前后运动电机控制装置实现自动控制磁铁前后运动 和N.S自动翻转，并且步进电机低速零震动、噪音极小、抗 干扰能力强，在电网恶劣环境，也可实现高精度定位。磁 场中心位置定位激光点可以把测试样品定位于磁场中心均 匀区。

      PM系列恒定磁场永久磁铁具有无需电源供电,长期使用不发 热，体积小，重量轻等特性。由于磁场稳定，可做标准磁 场使用。如果需要不同磁场大小或者是扫描磁场，可以选 择我们的电磁铁探针台。

      抽气泵

      抽气泵的用途有两个方面，通过抽气开关进行控制，一方面用来固定滑台，另一方面用来固定样品。

      室温磁场探针台的组成

      探针台选件

      直流探针：直流探针的选择主要有钨探针和铍铜探针两种，下列表格将钨探针和铍铜探针进行了相关参数和性能的描述。

屏蔽箱：屏蔽箱可以为测试器件提供一个防外界干扰的环境，屏蔽掉环境中的电磁干扰，进而保证了测试结果的准确性。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途