发布时间：2021年09月

Adgarde 室温磁场探针台（PSM-EM-4）不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。

      稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。

      样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品

      能自动控制电磁铁的前后运动和N.S电极方向的转变，并且能精准定位

      最多可安装6个探针臂

      探针臂设置了粗调、微调和360度自由旋转，结合样品座的移动可以扎到样品的任意位置。

      探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内

      CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm

      滑台和样品座均采用真空吸附固定。

      参数和指标

      样品座

      卡盘尺寸 2/4/6/8英寸，可定制

      材质 无氧铜镀金

      样品固定方式 多孔吸附

      滑台

      X-Y移动行程 X-±50mm，Y-±50mm

      移动精度 10μm

      探针臂

      X-Y-Z移动行程 X-13mm，Y-13mm，Z-13mm

      旋转度 360度自由旋转

      移动精度 10μm

      探针臂数量 可安装6个探针臂（左右两边各3个）

      电学线缆 三同轴线缆

      漏电流 100fA

      探针类型 直流探针 

      光学系统

      显微镜放大倍数 10-180倍

      显微镜工作距离 90-100mm

      CCD相机分辨率 3800万像素

      电磁铁组件

      磁铁型号 WDV-60W

      磁场大小 最高0.6T

      磁铁间距 30mm

      极柱直径60mm，标配一副50mm 纯铁极头

      循环水冷却

      可加选件

      屏蔽箱

      直流探针

      样品座

      可选联用设备

      M81同步源和测量模块

      M91快速霍尔测量仪

      155精密I/V源

PSM-EM-4室温磁场探针台信息由上海胤企制冷设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于PSM-EM-4室温磁场探针台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途