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北京中科科仪股份有限公司
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| 参考报价： | ￥3万-5万 RMB（人民币） | 型号： | CXF-200/1401 |
| 品牌： | 中科科仪 | 产地： | 北京 |
| 关注度： | 487 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 仪器种类 | 分子泵 | 价格范围 | ￥3万-5万 |
| 是否有油 | 无油泵 |
| 重量 | 51kg | 最大真空度 | 2*10-6Pa |
| 抽气速率 | 1400 |
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CXF-200/1401型磁悬浮分子泵
应用场景
由于磁悬浮分子泵具有高精密度、高效率、高可靠性等优点，因此广泛应用于微电子、半导体、平板显示、真空冶金、真空包装等领域。特别是在半导体行业，磁悬浮分子泵已成为制造工艺中必不可少的核心设备之一，可以有效保护芯片、提高芯片质量、降低成本。
产品特点
节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
技术指标
| 抽气速率（l/s） | N2：1400 Ar：1360 He：880 H2：560 | 压缩比 | N2：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-6（橡胶密封） 10-7（金属密封） | 进气口法兰 | DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制) |
| 额定转速（rpm） | 30000 | 启动时间（min） | ≤6 |
| 停机时间（min） | ≤16 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥16 |
磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。
CXF-200/1401型磁悬浮分子泵应用于微电子信息由北京中科科仪股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于CXF-200/1401型磁悬浮分子泵应用于微电子报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
