产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） | |
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 样品台减速 | ||
| 磁场噪音屏蔽系统（SEMI认证） | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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经销商
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