森美协尔 CG系列 真空高低温探针台

产品概要

CG高低温真空探针台是SEMISHARE多年来技术积累的创新成果，同时SEMISHARE也是国内率先自主研发推出的高低温真空探针台，CG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试，其在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着技术优势。

基本信息

应用方向

CG高低温真空探针台在高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等

技术特点

真空腔体

真空腔体采用外腔和屏蔽腔双腔体结构，为样品测试提供极限压力为10-4Pa的真空环境。低温测试时，避免空气中的水蒸气在样品上凝结成露水，从而避免漏电过大或探针无法接触电极而使测试失败。同时，由于真空绝热作用可是有效的提供制冷效率。高温测试时，避免了空气中的氧气氧化样品，从而避免样品电性误差、物理和机械上的形变。

探针臂XYZ调节机构

探针臂XYZ调节机构采用了自锁丝杠和交叉滚子导轨的结构，实现了探针定位精确为10um，探针漂移量优于±60nm/30mins的高精度点针。同时，采用三轴管状夹具和高屏蔽功能的三轴线缆，从而实现测试漏电精度达50FA。

探针热沉设计，定位更精准

SEMISHARE直流探针臂均配有两次热沉设计，第一次探针臂热沉在防辐射屏上、第二次探针通过陶瓷夹具热沉在样品台上。SEMISHARE的热沉设计能够有效的降低探针臂与测试器件的温差，提高了测试数据的精确性。

显微镜调节机构

显微镜调节机构通过调节支撑架的伸缩、高低以及显微镜自带调节座，可观测样品任意区域。20倍目镜和0.8倍-5倍的物镜变焦倍率，从而实现样品16X-100X的放大倍率。

制冷剂流量调节系统

制冷剂调节系统由杜瓦罐、压缩氮气压力控制阀及精密调节的针阀组成。控制低温时，通过调节压缩氮气压力控制阀来调节杜瓦罐中的压力，从而控制制冷剂流出的压力，继而调节制冷剂的流量；通过调节精密针阀进而精密控制制冷的流量，最终实现精准的低温控温功能。

制冷剂同轴回路

制冷剂同轴回路使制冷剂从中间进入管路进入样品台，流经屏蔽腔底板腔室，在回流至同轴回路外层回流管中，最后通过排气口排放到室外。制冷剂同轴回路使得制冷剂在排出的过程中加以利用，营造相对室温低很多的环境，抑制了进入样品台的制冷剂的提前消耗，从而提高制冷剂的制冷效率，较少制冷剂的消耗。

防震平台

防震系统采用空气弹簧式支撑架的防震平台。通过空气弹簧的形状、材质、弹簧室的容积及补助罐容积、阻尼孔径和水平调节阀等一系列减震设计，实现该系统垂直本征频率为1.5Hz，水平本征频率为1.2Hz的低频固有频率，承重达400Kg的承载能力。从而有效避免细微低频率频带的振动给测试带来的不利影响。

功能结构

常见2种应用需要真空测试环境

极低温测试:

晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。同时由于真空绝热作用可以有效提高制冷效率。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

规格参数