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二次离子质谱/离子探针
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CAMECA二次离子质谱/离子探针, 为光学器件中的硅、高k、硅锗以及III-V族化合物等复合材料的薄层提供超浅深度剖析、痕量元素和组分测量等一系列扩展功能。......
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