Q300T T Plus 三靶溅射镀膜仪

     Q300T T Plus–三靶溅射镀膜仪，适用于200mm直径的试样

       Q300T T Plus是一种大腔室涡轮泵溅射镀膜系统，非常适合溅射单个直径高达8〃/200mm的大直径试样或多个直径相似的较小试样。非常适合薄膜应用和SEM/FE-SEM应用。它配备了三个溅射头，以确保单个大样本或多个样本的均匀镀膜。

仪器箱

590mm 宽 x 535mm 深 x 420mm 高（涂布头开启时最大高度：772mm）

重量

36 kg（包装：59kg）

包装尺寸

730 mm 宽 x 630 mm 深 x 690 mm 高

工作腔

硼硅酸盐玻璃，带一体式PET防爆罩 尺寸 300 mm 外径 x 127 mm 高

显示

115.5mm 宽 x 86.4mm 高（活动区域），640 RGB x 480（显示格式），电容式触摸彩色显示屏

用户界面

带有触摸屏按钮的全图形界面，包括最近 1000 次涂层的日志和维护到期提醒等功能

试样阶段

标配用于 6 英寸（150 毫米）和 8 英寸（200 毫米）晶圆的平面旋转平台。

旋转/倾斜载物台和“rota cota”旋转倾斜载物台也是可选的

真空

旋转泵：旋转泵 – 4 m3/hr，带油雾过滤器的两级旋转泵，用于 Q300T T Plus

涡轮泵：涡轮泵 – 内部安装的 70 升/秒风冷

真空测量：标配皮拉尼真空计，可选配更宽量程真空计

极限真空度：5 x ^10-5mbar*

溅射真空范围：5×^10-2 至 5×^10-3 mbar*

*在用干燥氮气预泵送和排气后，清洁仪器中泵送系统的典型极限真空度

过程

溅射沉积电流：

单目标：1 – 150mA

所有目标：60 – 420mA

可视状态指示灯

大型状态多色指示灯可直观地指示设备状态，使用户能够轻松识别远处的过程状态。

LED 指示灯显示以下状态：

• 初始化

• 进程运行

•怠

• 涂层进行中

• 流程完成

• 过程在故障状态下结束

该过程完成后也会响起音频指示。

服务业

气体：工艺气体氩气，99.999% 标称 5 psi