我的咨询

您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?

稍后再说 立即咨询
咨询列表
Picosun
X
头像

客服中心

如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息

400-6699-117转1000
发布求购 平台客服
扫码下载
"来会会"App
扫码关注
分析测试百科网
您现在所在的位置:首页 >> 仪器导购 >> 原子层沉积系统(ALD)>> 芬兰原子层沉积设备PICOSUN™ALD- P300系列

芬兰原子层沉积设备PICOSUN™ALD- P300系列

tel: 400-6699-117 1000

Picosun原子层沉积系统(ALD), 名称:原子层沉积系统 品牌:PICOSUN 产地:芬兰 型号:PICOSUN™ ALD- P300系列

咨询留言

Picosun™ 300mm生产线上的产品是300mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro和Advanced ALD设备。该工具可以独立工作,也可以集成到PICOPLATFORM™300真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间,所有PICOSUN™的ALD系统有着紧凑、高效的设计。集成的专业机柜,装载着前驱体和电子元件,保证了快速简便的维护和zei短的停机时间。PICOSUN™ P系列工具保证了zei大产能以及zei节约成本的情况下得到优秀的ALD工艺质量,并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。
工艺咨询和开发,产能提维护保养流程和系统及工艺的故障排除,我们客户化定制的PICOSUPPORT™综合解决方案24小时快速响应,随时待命。在购买之前,我们的演示服务保证了设备可以100%满足客户zei苛刻的产线需求。

客户使用PICOSUN™ R系列ALD 设备在150mm和200mm(6“和8”)晶圆上所沉积薄膜厚度均匀性数据。

材料
非均匀性(1σ)
AI2O3 (batch)
0.13 %
SiO2 (batch)
0.77 %
TiO2
0.28 %
HfO2
0.47 %
ZnO
0.94 %
Ta2O5
1.0 %
TiN
1.10 %
CeO2
1.52 %
Pt
3.41 %


售后服务

我会维修/培训/做方法

如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。

1该产品的品牌知名度如何?
2你对该产品的使用感受如何?
3该产品的性价比如何?
4该产品的售务如何?
查看
在线咨询

在线咨询时间:

周一至周五

早9:00 - 晚17:30

若您在周六周日咨询,请直接留言您所咨询的产品名称+联系人+电话