产品介绍
μscan共聚焦显微镜材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal
point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light
sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。
CF4激光共聚焦传感器内,被照亮的小孔成像在被测量的表面,激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,只有当焦平面和真实表面的点配对的时候,探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动,使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术,该系统的精度能达到10nm以下。
?集成电路封装和表面贴装:快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。
?厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量
?精密部件:测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等
除厂家/中国总经销商外,我们找不到
NanoFocus三维激光共聚焦显微镜 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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