应用 
    μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 
精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等; 
生命科学：测量stents支架上镀层厚度等 
微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等 
半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计 
太阳能：太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等 
纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量 
LED：用于蓝宝石衬底的测量，抽检PSS ICP后的WAFER的3D形貌 

技术参数 
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
测量时间：2~10秒 
测量原理：非接触、共聚焦 
X/Y方向：平台移动范围：100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可选)，马达驱动，X/Y方向分辨率：0.3μm 
Z方向测量范围：350μm，Z方向分辨率：< 1nm 
物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 
离轴摄像头(10X)，zei大视野8 x 6 mm2(选配) 
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能 
配有专业工作台：尺寸1550x800x750 mm (LxWxH) 
工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA 
材质：钢铁、橡胶、大理石 
重量：约150KG+80KG 
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

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