技术参数 
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
测量时间：5~10秒 
测量原理：非接触、共聚焦 
X/Y方向，平台移动范围：50mmX50mm，马达驱动，分辨率：0.3μm 
Z方向测量范围：250μm，分辨率：2nm 
物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 
计算机：高性能计算机控制系统，功能全面的软件，有拼接功能， 
工作电源：100-240V, 50-60Hz, input<45W 
材质：钢铁、橡胶、大理石 
外型尺寸：710x270x330 mm (HxWxD) 
重量：28KG 
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)