TESCAN MIRA3场发射扫描电镜（GMH/GMU）

背散射电子图像分辨率：2.0nm@30kV

二次电子图象分辨率：1.0nm (30kV)

加速电压：0.2~30kV

放大倍数：x1~x1,000,000

MIRA3

分辨率

高真空模式 SE：1.2 nm at 30 kV；2.5 nm at 3 kV

高真空模式离子束 SE：1 nm at 30 kV

低真空模式 BSE：2 nm at 30 kV

高真空模式 BDM (Beam Deceleration Mode)：1.5 nm at 3 kV ；2.5 nm at 200 V

低真空模式 LVSTD (UniVac only)：1.5 nm at 30 kV

STEM：0.8 nm at 30 kV

工作真空

高真空模式腔：< 9 × 10 ^-3  Pa*

低真空模式腔(仅对UniVac)：7 – 500 Pa** 

真空枪：< 3 × 10 ^-7  Pa

* 可达到压力 < 5 × 10 ^-4  Pa

** 带插入式低真空规

电子光学工作模式

高真空模式：分辨率、深度、场、宽场、Channelling

低真空模式：分辨率、深度

放大倍数：连续 2× ~ 1,000,000× (LM); 1x ~ 1,000,000× (XM, GM)

视场：6.4 mm at WD analytical 10 mm；20 mm at WD 30 mm

加速/ landing电压：200 V ~ 30 kV / 50 V ~ 30 kV 带 BDT (束减速技术)选项

电子枪：高亮度肖特基场发射

探针电流：2 pA ~ 200 nA

扫描速度：从 20 ns ~ 10 ms，以步进或连续方式可调节每个像素

扫描特性：

 聚焦窗（形状、尺寸和位置连续可调）

 动态聚焦，点和线扫描，图像旋转，图像位移，倾斜补偿, 3D 束，生物立体成像（SEM），通过选项的DrawBeam软件还可扫描其他形状

图像尺寸：zei大 16,384 × 16,384 像素，独立可调，用于活体成像（3步实现）和存储图像（11步），可选择正方形、4:3或2:1的矩形

显微镜控制：所有显微镜功能由使用trackball来进行PC控制，经由Windows平台下的MiraTC来进行鼠标和键盘控制。选配控制面板和触屏控制。

自动化程序：

  In-Flight Beam Tracing™ beam optimization, Spot Size and Beam Current Continual, 

  WD (focus) & Stigmator, Contrast & Brightness, Scanning Speed (according to Signal- 

   Noise Ratio), Gun Centering, Column Centering, Vacuum Control, Compensation for kV, 

   Look-Up Table, Auto-diagnostics

远程控制：经由 TCP/IP 开放协议

参考招标参数:

中国科学院2018年仪器设备部门集中采购项目（第一批）OITC-G180260376-2

1场发射扫描电镜

一、主要功能

场发射扫描电镜需集成扫描电镜的高空间分辨率和拉曼光谱成分分析的功能，在获得高分辨率图像的同时，又得到高分辨率的成分相分布。同时，该系统需配备能谱仪辅助采集样品的元素分布信息，有效解决定位目标区域的形貌、元素分布及成分信息，主要应用于生命科学，药学，新型材料，纳米材料，医学，矿物等领域。

二、工作条件

2.1 工作电压：220V (±10%)，50Hz；

2.2 运行环境，温度要求15-25℃；相对湿度＜80%；

2.3 2KW UPS不间断电源（1小时）。

三、系统配置及技术指标

3.1扫描电镜

3.1.1 分辨率：

*3.1.1.1 SE分辨率：0.8 nm @ 15 kV; 1.0nm@1kV

*3.1.1.2 BSE分辨率：1.6nm@15kV

*3.1.1.3低真空BSE分辨率：2 nm @ 30 kV

3.1.2 放大倍率：12倍~1,000,000倍

3.1.3 电子束流：2pA~400nA

3.1.4 探测器：

3.1.4.1样品仓内YAG晶体二次电子探测器

*3.1.4.2 样品仓内自动可伸缩YAG晶体背散射电子探测器

3.1.4.3 镜筒内二次电子探测器

*3.1.4.4 镜筒内背散射电子探测器

*3.1.4.5自动可伸缩全色阴极荧光探测器，波长范围：185 nm - 850 nm

3.1.5 样品台：中心五轴马达驱动，移动行程：X、Y ≥ 130 mm; Z ≥ 52 mm；倾斜：T ≥ 0°to 70°; 旋转：360°连续。

3.1.6 样品室： 内径≥ 340 mm，接口数量20。

3.1.7 扫描速度多级可调。

3.1.8 配备观察样品室红外摄像头。

3.1.9 多功能手动操作面板。

*3.1.10 配备主动式减震。

3.1.11 备用场发射灯丝一根。

3.1.12 扫描电镜控制系统：硬件：CPU不低于 i7；四核（>3.0 GHz）；内存: 16G；硬盘容量不低于2TB；显卡显存：4GB；软件：Windows 10 64位操作系统，办公软件：microsoft office。

3.2拉曼光谱 

3.2.1 主要配置

3.2.1.1在电镜工控中实现拉曼光谱仪的各项功能；

3.2.1.2配置自动化控制光学系统、研究级共焦显微镜、激光光源、多功能数据采集处理软件、不同刻线光栅及数据库等；

3.2.1.3仪器具有高度整体性和长期稳定性，自动化程度高。

3.2.2 光谱仪

3.2.2.1 拉曼光谱范围：532 nm激发90-6000 cm-1;785 nm激发80-3100 cm-1；

*3.2.2.2 光谱重复性≤0.02cm-1。

*3.2.2.3 光谱分辨率≤1.5 cm-1。

*3.2.2.4 灵敏度硅三阶峰的信噪比≥20:1。

3.2.2.5 空间分辨率X、Y方向≤0.5 μm，Z方向≤1.5 μm。

3.2.2.6 激光器及激光功率：TEM00空间模式，计算机控制激光功率多级连续可调,，精度好于0.1mw；532 nm半导体激光器，激光功率≥75 mW；785 nm半导体激光器，激光功率≥125 mW。

*3.2.2.7 快速拉曼成像：电镜内实现拉曼成像范围≥ 250 μm * 250 μm；快速成像功能，每点积分时间可以达到10ms；在电镜中观察的相同区域可进行共聚焦拉曼点分析、线分析及成像分析。

3.2.2.8光栅：配备≥3块不同刻线的光栅。

3.2.2.9 显微观察系统：配置原装100X（NA=0.75）物镜至少一个；反射照明；带彩色摄像头。 

3.2.2.10 配备光谱自动校准光源。

3.2.3 控制系统及软件包

3.2.3.1 拉曼快速成像工作站：Core i7 3.4 GHz处理器, 8GB内存，2TB硬盘，Win7 64位操作系统。

3.2.3.2 数据分析包括峰位拟合，CLS峰位拟合，成像分析等。

3.2.4 数据库：权威数据库包含有机物、高分子、生物化学、无机矿物等。

3.3 能谱部分

*3.3.1 探测器：电制冷探测器，高分子薄窗; 探测器晶体面积170 mm2；

*3.3.2 能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析下限: Be；

3.3.3具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰, 开机后无需重新修正峰位；

3.3.4能谱仪处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192*8192，全谱面分布图清晰度4096*4096；

3.3.5图像灰度、对比度自动调节，二次电子像及背散射像可同时采集；

3.3.6能谱操作软件采用zei新的AZtecLive平台，支持中、英文等多种操界面；

3.3.7预览电子图像时，元素谱图与面分布图实时显示。并可以实现元素追踪；

3.3.8高帽滤波法，自动扣除背底；

3.3.9谱定性分析:可自动标识谱峰, 无禁止自动标定的元素，可进行谱重构，对重叠峰进行剥离；

3.3.10定量分析:可对抛光表面或粗糙表面定量分析, 采用XPP定量修正技术, 可对倾斜样品进行修正, 并增强对轻元素的修正; 具有完备的虚拟标样库；

3.3.11数据库：20KV 无标定量数据库和5KV 无标定量数据库；

3.3.12具备重叠峰剥离，样品防漂移等功能；

3.3.13具备Feature 颗粒物分析系统，使用能谱对颗粒物按成分和形貌进行归类；

3.3.14具备大面积拼图功能；