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ParticleX 全自动颗粒分析系统

tel: 400-6699-117 6730

Phenom扫描电镜SEM, ParticleX 以扫描电镜和能谱仪为基础,结合自动控制系统以及强大的数据库系 统,可以全自动对杂质颗粒进行快速识别、分析和分类统计,为客户的研发以及生 产提供快速、准确和可靠的定量数据支持。

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产品参数


电子显微镜:200,000 倍

探测器:高灵敏度四分割背散射电子探测器

灯丝材料:1,500 小时 CeB6 灯丝

分辨率:优于 10 nm

放置环境:采用专业防震设计,可摆放于普通实验室或办公室、厂房

加速电压:4.8kV-20.5kV 连续可调

抽真空时间:小于 30 秒

能谱仪:可选配能谱仪

规格参数

 

Phenom ParticleX

光学放大

3 - 19 X

电子光学放大

200,000 X

分辨率

优于 8 nm

光学导航相机

彩色

加速电压

4.8 kV - 20.5 kV 连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低核电效应模式

高真空模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

能谱探测器


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