主要参数
| 名称 | Regulus8100 | Regulus8240/8230/8220 |
|---|---|---|
| 二次电子分辨率 | 0.8 nm（加速电压 15 kV） 1.1 nm（着陆电压 1 kV）*2 | 0.7 nm（加速电压 15 kV） 0.9 nm（着陆电压 1 kV）*2 |
| 加速电压 | 0.5~30 kV | 0.5~30 kV |
| 着陆电压*2 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV |
| 倍率 | 20~1,000,000倍*3 | 20~2,000,000倍*3 |
| 马达台控制 | 3轴自动*4 | 5轴自动 |
*1 仅限 Regulus8240/8230/8220
*2 减速模式观察
*3 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率
*4 5轴马达台为选配项
参考招标参数:
中国科学院2018年仪器设备部门集中采购项目（第一批）OITC-G180260376-2
第9包：冷冻型高分辨率扫描电镜
冷冻型高分辨率扫描电镜
1. 工作条件：
1.1 房间温度：15 ~ 25℃
1.2 相对湿度：小于60%
1.3 适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电
1.4 地线：接地电阻不小于40Ω。
2. 设备用途：
2.1 用于干燥样品的形貌、结构研究。
2.2 在真空及低温条件下实现生物、材料、食品、地质等含水样品的冷冻制备（冷冻断裂、升华刻蚀、溅射镀膜）、样品传输、电镜低温观察。
3. 技术规格：
3.1 组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，冷冻传输系统，计算机，标准工具及附件。
3.2 电子枪：场发射电子枪，电子源尺寸＜5nm,能量范围＜0.3eV
3.3 分辨率
3.3.1 SE分辨率 15KV：0.8nm (工作距离4 mm)
3.3.2 SE分辨率 1KV：1.1nm(工作距离1.5 mm)
3.3.3 标配减速功能，并随时可以开关
3.4 加速电压：0.5~ 30kV，着陆电压：0.1~2 kV
3.5 底片放大倍数范围 : x20 ~ x1000K
*3.6 可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率
3.7 物镜光阑： 4孔可调式，内置加热自清洁装置
3.8 样品台驱动：5轴马达台驱动
3.9 zei大样品直径：≥100mm
*3.10 通过预抽室交换样品，且预抽室端面透明，可观察到样品交换过程
3.11 具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落
*3.12 标配高位二次电子探测器和低位二次电子探测器，高位二次电子探测器安装在物镜上方，可选择接收以任意比例混合的SE和BSE，且在小于1kV的低压下也可以成BSE像。
3.13 扫描模式：TV扫描(扫描速度不低于25帧/秒)
快扫描
慢扫描 全屏模式下1、4、20、40、80秒/帧，可选
3.14 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920和5120×3480像素
3.15 捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名
3.16 电子图像移动：±12μm (WD=8mm)
3.17 真空系统：
真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室)
真空泵：机械泵1台：135L/Min；
分子泵（磁悬浮型）1台：300L/S；
离子泵3台：60L/S×1，20L/S×2
3.18 保护：断电、漏电、真空保护
3.19 用户可自行完成烘烤维护和镜筒合轴维护
3.20 冷冻传输系统
3.20.1样品预处理装置
3.20.1.1组合式液氮泥预冷制备装置，过冷液氮温度为-210℃
3.20.1.2带有样品托装载机构，以便预冷样品的对接传输操作
3.20.1.3系统需配有可移动的集成工作台，含有真空贮存管，可存放样品传输装置
#3.20.2系统冷源
冷冻制备腔室和扫描电镜冷台、冷阱均采用过冷氮气气冷方式；配置分体式安装的液氮杜瓦瓶组件；无需补充液氮的连续运行时间不小于12小时
3.20.3高真空冷冻制备装置
#3.20.3.1真空系统：涡轮分子泵抽真空系统，抽速为70升/秒，其前级泵为抽速5立方/小时的旋转机械泵；制备腔室真空度优于1*10-6 mbar（液氮冷却时）
3.20.3.2制备腔室冷台和冷阱
与电镜腔室直接相连，制备腔室内含冷台和冷阱
冷台：温度范围为-190℃ ～ +100℃；温度稳定度≤1℃
冷阱：冷台附近设有防污染冷阱，冷阱温度可低至-190℃
3.20.3.3样品传输通道采用门阀密封，无需润滑脂
#3.20.3.4具有低温断裂、升华刻蚀、溅射镀膜等功能。配有双断裂工具；可设置及贮存升华参数曲线，全自动升华操作；全自动溅射镀膜为低电压冷溅射工作方式，配有Pt靶
#3.20.3.5冷冻制备腔室配有CCD相机，可在触摸式显示屏上对样品进行大视场观察
3.20.4扫描电镜冷台及冷阱
3.20.4.1冷台和冷阱采用独立的双气路冷却
*3.20.4.2冷台：-190℃，温度稳定度≤1℃, 与电镜减速场（BD）模式兼容，zei大可承受3.5KV反向电压；冷阱：-190℃或更低
4. 产品配置要求
4.1 场发射扫描电镜主机 1套
4.2自动变压器 1套
4.3冷却循环水系统 1套
4.4预抽室 1套
4.5标准随机附件及工具 1套
4.6冷冻传输系统 1套
4.8 要求的附件、专用工具和消耗品
序号 | 名称 | 型号 | 数量 |
1 | 物镜光阑 | 四级可调 | 1 |
2 | 碳导电胶带 | 碳导电胶带（8 mm X 20 m） | 5 |
3 | 机械泵油 | 机械泵油（1L） | 1 |
4 | 样品台 | 不同尺寸样品台 | 300 |
5 | 工具箱 | 配备制样、装样所需螺丝刀一套、镊子一套、专用清洁工具 | 1 |
6 | 冷场发射灯丝 | 电镜备用灯丝 | 1 |
7 | 电脑桌 | 电脑与数据处理电脑用 | 1 |
8 | Pt靶材 | 供冷冻传输使用 | 2 |
9 | Pt靶材 | 供离子溅射仪使用 | 2 |
10 | 液氮罐1 | 5L | 1 |
11 | 液氮罐2 | 30L | 1 |
12 | 液氮杜瓦罐 | 60升自减压液氮杜瓦罐 | 1 |
13 | 氩气钢瓶 | 1 | |
14 | 氩气减压阀 | 1 | |
15 | 电吹风 | 1 | |
16 | 多功能插座 | 1 | |
17 | 蓄电池 | 12V 120Ah（单位：支） | 16 |
|
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