Helios 600 NanoLab FESEM/FIB"双束"显微镜

技术参数：
1.分辨率 
　在zei适佳工作距离下： 
　　0.9nm @ 15kV 
　　1.4nm @ 1kV 
　在束交点(电子束+离子束)的工作距离下： 
　　1.0nm @ 15kV, 束交点工作距离 4mm 
　　5nm FIB @ 30kV，束交点工作距离 16.5mm 
2.加速电压范围： 
　　SEM: 30kV 至 350V 
　　FIB: 30kV 至 500V 
3.探测器： 
　　新一代TLD二次电子/背散射电子探测器 
　　样品室红外CCD 
　　可选CDEM离子探测器、STEM、固体背散射探测器等 
4.气体注入系统（GIS）： 
　　Pt沉积气体 
　　W沉积气体 
　　C沉积气体 
　　金属增强蚀刻气体 
　　氧化物增强蚀刻气体 
　　(FEI目前可提供多达11种气体) 
5.150mm(6“)压电陶瓷马达驱动的全对中样品台