赛默飞Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜

规格

基本规格

电子光学器件

Elstar XHR 浸没透镜 FESEM 镜筒

· Elstar 电子枪，配有：

- 肖特基热场发射体

- 热拔插功能

- UC 技术（单色仪）

· 60 度双物镜（带极片保护）

· 加热的物镜孔隙

· 静电扫描

· ConstantPower™ 透镜技术

源寿命

· 电子源寿命：12 个月

电子束分辨率

（需要现场调查以保证分辨率规格）

· zei佳工作距离下的分辨率

- 30 kV 时为 0.6 nm (STEM*)

- 15 kV 时为 0.6 nm

- 2 kV 时为 0.6 nm

- 1 kV 时为 0.7 nm

- 500 V 时为 1.0 nm (ICD**)

- 200 V 时为 1.2 nm (ICD**)

zei大水平场宽

· 电子束：在 4 mm 工作距离下大于2.0 mm

实际到达能量范围

· 20 eV - 30 keV

探针电流

· 电子束：0.8 pA - 100 nA

真空系统

· 1 x 210 l/s TMP

· 1 x PVP（干式泵）

· 2 x IGP

· 样品仓真空：< 2.6 * 10-6 mbar（24 小时抽气后）

探测器

· Elstar 透镜内 SE 探测器 (TLD-SE)

· Elstar 透镜内 BSE 探测器 (TLD-BSE)

· Elstar 镜筒内 SE 探测器 (ICD)**

· Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)**

· Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)

· 用于查看样品/镜筒的 IR 摄像头

· 安装在样品仓的 Nav-Cam+™*

· 伸缩式低压、高衬度固态背散射电子探测器 (DBS)**

· 带有 BF/DF/HAADF 分段的伸缩式

STEM 探测器*

· 集成电子束电流测量

样品仓

· 4 mm 工作距离下的电子束和EDS 重合点

· 21 个端口

超高精度 5 轴压电式电动载物台

· X、Y = 100 mm

· Z ≥ 20 mm

· T = - 10° 至 + 60°

· R = n x 360 ° 行程

· X、Y 可重复性 0.5 μm

· X、Y 准确度 < 1.5 μm，85% 容差区间

· 机械式倾斜共心载物台，倾斜角度为 0° 到 52° 时图像移动小于 5 μm

· 中心旋转和倾斜

样品尺寸

· zei大尺寸：直径 100 mm，可全方位旋转

· zei大样品厚度（通过装载锁）：19 mm（含支架）

· zei大样品厚度（通过样品仓门）：27.8 mm（含样品支架）

· 重量：200 g（含支架）

样品支架

· 多样品台支架**

· 多样品切片支架*

· 单样品台底座，直接安装在载物台上

· 根据要求提供各种晶圆和定制支架

· 配备 -50 V 至 -4 kV 的载物台偏置的电子束减速

· 集成的快速电子束熄灭装置*

图像处理器

· 驻留时间范围为 0.025 到25000 μs/像素

· zei高 6144 × 4096 像素

· 文件类型：TIFF（8、16、24 位）、BMP 或 JPEG

· 单帧或四象限图像显示

· SmartSCAN（256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描）和DCFI（漂移补偿帧积分）

系统控制

· 32 位 GUI（使用 Windows® XP）、键盘、光电鼠标

· 两台 24 英寸宽屏 LCD 显示屏，WUXGA 1,920×1,200 像素

· 显微镜控制和支持计算机无缝共用一个键盘和鼠标

· 操纵杆**

· 多功能控制台**

· 远程控制*

支持软件

· “一个象限一个电子束”图形用户界面概念，可同时激活 4 个象限

软件选件

· 具有网络连接的数据归档软件*

· 图像分析软件*

· iFAST，具有高级自动化功能*

· MAPS™，适用于自动采集大型图像和相关工作*

· IC3D 离线测量软件*

· Cell NavigatorTM，用于位单元导航*

文档

· 在线帮助

· 适用 RAPID™（远程诊断支持）

· 免费访问“FEI for Owners”在线资源

常用配件

· 分析：EDS*

· 装载锁**

· 集成的等离子清洗器

· FEI CryoCleaner

· 电子束光刻：Raith、Nabity 或其他供应商提供的套件*

· FEI 隔声罩*

· 冷冻 SEM：样品传输和制备、冷冻载物台*

· 气体注入系统 (GIS)*

· NIST 认证的放大倍率校准样品*

耗材（部分清单）

· 备用肖特基电子源模块

· 电子孔隙板

保修和培训

· 1 年保修

· 可选维护服务合同

· 可选操作/应用培训合同

* = 可选

** = Verios 460 的选件，

Verios 460L 的标配