| OS | Windows®7 |
|---|---|
| 连接机型 | AFM5100N、AFM5300E |
| RealTuneII | 悬臂振幅、接触力、扫描速度、自动设置反馈增益 (Auto、Fast、Soft、Rough、Flat、Point) |
| 操作画面 | 导航功能、多图显示功能（测量/分析）、3D叠加功能、扫描范围/测量记录显示功能、数据分析批量处理功能、探针评估功能 |
| X,Y,Z扫描电压 | XY（±200V/18bit） Z（±200V/26bit） |
| 多画面测量 | 4画面（最大2048×2048） 2画面（最大4096×4096） |
| 长方形扫描 | 1:1, 2:1, 4:1, 8:1, 16:1, 32:1, 64:1, 128:1, 256:1, 512:1, 1024:1 |
| 分析软件 | 3D显示功能、凹凸分析、剖面分析、平均剖面分析 |
| 尺寸、重量 | 220 mm（W）×500 mm（D）×385 mm（H）、约15 kg |
| 电源 | AC 100V～240V±10%、单相 |
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