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蔡司透射电镜TEM, 仪器简介: ORION™显微镜的基础是革命性的、原子尺寸的、ALIS气体场离子源。由单个原子发出的,极其明亮的氦离子束克服了衍射和能量扩展的限制,正是衍射和能量的扩展影响了电子束在扫描电镜中的应用。 这就意味着ORION显微镜拥有一个非常小的束斑用于高分辨率成像。此外,在一个大大缩小了的相互作用区里,独特的氦离子束和样品的动力学结果贡献了更高的分辨率和内涵丰富的衬度机制 ORION™显微镜也可以使用背散射氦离子成像,具有很强元素衬度的这种技术,提供了在样品表面区分不同材料的能力 ORION™显微镜灵活性高、功能多样,能够提供广泛的分析信息,其中包括:形貌、材料、电压衬度、晶体学、表面和次表面信息,这种技术的另一个好处是在绝缘样品上的卓越性能。
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