牛津仪器X射线能谱仪(EDS), X-Max Extreme全新硅漂移探测器是能谱探测器领域的又一突破，为超高分辨率FEG-SEM的应用及超越常规的微米和纳米尺度分析提供了全新的解决方案。 X-Max Extreme是100mm2无窗版本的X-Max，可显著地提高灵敏度和空间分辨率。 它采用了优化的径向几何设计，可实现在超高分辨场发射扫描电子显微镜的低电压及小工作距离条件下同时采集图像和能谱。X-Max Extreme可实现能谱的分辨率达到相应扫描电子显微镜的分辨率。