日立 FT150系列 荧光X射线镀层膜厚测量仪

参数：

基本参数：
型号：FT150（标准型）FT150h（高能量型）FT150L（大型线路板对应）
测量元素：原子序数13（Al）～92（U）
X射线源：管电压：45 kV   
        FT150：Mo靶 FT150h：W靶 FT150L：Mo靶
检测器：Si半导体检测器（SDD）（无需液氮）
X射线聚光：聚光导管方式
样品观察：CCD摄像头（100万像素）
对焦：激光对焦、自动对焦
zei大样品尺寸：FT150:400(W)×300(D)×100(H)mm
                        FT150h:400(W)×300(D)×100(H)mm 
                        FT150L:600(W)×600(D)×20(H) mm
工作台行程：FT150:400(W)×300(D)
                   FT150h:mm400(W)×300(D)
                    FT150L:mm300(W)×300(D) mm
操作系统：电脑、22英寸液晶显示屏
测量软件：薄膜FP法（zei多5层膜、10元素）、检量线法、定性分析
数据处理：Microsoft Excel、Microsoft Word 安装
安全功能：样品门联锁
消耗电量：300 VA以下