技术指标：

1、多镀层，1-6层；

2、高测试精度；

3、元素分析范围从铝（Al）到铀（U）；

4、测量时间：10-60秒；

5、SDD探测器，能量分辨率为125电子伏特；

6、微焦X射线管50KV/1mA；

7、焦斑尺寸75um；

8、7个准直器及6个滤光片自动切换；

9、XYZ三维移动平台，MAX荷载为20KG；

10、高清CCD摄像头，准确监控位置；

11、多变量非线性去卷积曲线拟合；

12、高性能FP/MLSQ分析；

13、平台移动范围：100（X）×150（Y）×90（Z）mm；

14、仪器尺寸：526×637×484mm；