大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

标准配置中包含：

1. 主机(光谱仪，光源，电线)

2. 反射光纤

3. 样品台及光纤适配器

4. TFCompanion软件

5. 校准套装

6. 测试样品，200nm晶圆

多种型号可选，每个型号对应不同的测量范围：

测量n和k值，其厚度范围需在25纳米和5微米之间

广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中：

半导体晶圆，薄膜太阳能电池，液晶平板，触摸屛，光学镀膜，聚合物薄膜等