带有预热系统的滑动PECVD

产品型号：OTF-1200X-50-II-PE-MSL

品牌：合肥科晶

产品产地：中国

产品类型：国产

原制造商：合肥科晶

状态：在售

厂商指导价格： 5~10万元[人民币]

上市时间： 2011年

英文名称：OTF-1200X-50-II-PE-MSL

优点：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统，组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉，预热炉（作用为使固体原料蒸发）和德国进口的无油泵。此款PE-CVD对于生长纳米线或用CVD,方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。