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CXF-320/3000型磁悬浮分子泵

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中科科仪真空泵, 一、应用领域 半导体制造、玻璃镀膜、太阳能电池、电子显微镜、冶金、等离子技术、医疗设备等领域

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技术特点

【技术特点】-- CXF-320/3000型磁悬浮分子泵


CXF-320/3000



【技术特点对用户带来的好处】-- CXF-320/3000型磁悬浮分子泵


【典型应用举例】-- CXF-320/3000型磁悬浮分子泵


【产品所获奖项】-- CXF-320/3000型磁悬浮分子泵


一、应用领域半导体制造、玻璃镀膜、太阳能电池、电子显微镜、冶金、等离子技术、医疗设备等领域二、技术指标?型号CXF-320/3000抽气速率(L/s)3000排气口法兰KF40进气口法兰ISO‐F320(其它法兰口需要定制)DN320LF极限压强≦5×10‐7Pa建议启动压强5Pa额定转速(rpm)

上市时间:2017年4月






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