技术特点
【技术特点】-- 108C Auto 镀碳仪
l 独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
l 108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
l 使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
l 可选择手动或自动方式操作。
l 自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。
l 可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件)。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内,重现性可优于5%。
【技术特点对用户带来的好处】-- 108C Auto 镀碳仪
【典型应用举例】-- 108C Auto 镀碳仪
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