技术规格
仪器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 总重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸盐玻璃152mm Dia (内部) x 214mm H
安全钟罩:整体PET
样品台：直径为50mm的旋转样品台。转速8-20 rpm
真空范围: 10-5 mbar量级
溅射可选靶材：Au金、Au/Pd金钯合金、Pt铂、Pt/Pd铂钯合金、Ag银、Al铝、C碳、Cr铬、Co钴、Cu铜、Fe铁、Ir铱、Mg镁、Mo钼、Ni镍、Pd钯、Sn锡、Ta钽、Ti钛、W钨、ITO氧化铟锡等 蒸发源：可选用碳棒进行热蒸发镀碳，也可使用钨丝篮或钨舟/钼舟进行热蒸发镀各种金属膜。