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X射线能谱仪(EDS)
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牛津仪器X射线能谱仪(EDS), Ultim Extreme为SEM提供zei终空间分辨率和低能量性能。 Extreme系列将极端电子和无窗结构与优化的几何结构和传感器设计相结合,可提供比传统大面积SDD高15倍的灵敏度。
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