| 电子枪 | ZrO/W 肖特基型 |
|---|---|
| 描画方式 | 描画方式 |
| 加速电压 | 25kV (选配), 50kV, 100kV |
| 样品尺寸 | zei大200mmΦ的晶圆片, zei大 5英寸或 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。 |
| 样品尺寸 | 2000μmＸ2000μm |
| 样品台移动范围 | 190mmX170mm |
| 套刻精度 | ≦±9nm |
| 场拼接精度 | ≦±9nm |
| 扫描速度 | zei大 50MHz |
请扫描二维码查看详细参数
经销商
|
除厂家/中国总经销商外，我们找不到 日本电子JBX-6300FS 电子束光刻系统 的一般经销商信息，有可能该产品在中国没有其它经销商。
如果您是，请告诉我们，我们的邮件地址是：sales@antpedia.net 请说明: 1.产品名称 2.公司介绍 3.联系方式 |
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商，都可参与登记，我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。
