名称 | 规格 | 名称 | 规格 |
玻璃处理室 | 内径Ф 115mm x 高度130mm | 真空保护 | 20PA配有微量充气阀调节工作真空 |
试样台尺寸 | 内径Ф 40mm, 可同时放六个样品杯 | 工作媒介气体 | 空气或氩气，配有氩气专用进气和微量充气调节 |
金靶尺寸 | Ф58mm X 0.12mm | 定时开关 | 控制溅射时间，范围为10～110S |
真空系统 | 直联旋片真空泵 2L/秒 | 可用靶材 | 金靶，铂靶，镍靶 |
真空检测 | 皮氏计 | 产品尺寸 | 400mm X 500mm X 400mm（带玻璃罩） |
工作电源 | 220 VAC 50Hz |
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