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堀场椭偏仪, 20多年技术积累和发展的结晶,是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行zei精确的测量。采用PEM相位调制技术,与机械旋转部件技术相比,能提供更好的稳定性和信噪比。
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