项目 | 内容 |
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样品尺寸 | 50mm×50mm×12mm(t)以下 |
样品台 | 5轴电动机械优中心马达台 |
加速电压 | 1~30kV (0.5kV~ 选配) (0.5~1.0kV : 步长0.1kV) (1.0~2.0kV : 步长0.2kV) |
二次电子分辨率 | 4nm@30kV |
最大探针电流 | 90nA |
最大探针电流密度 | 50A/cm2 |
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经销商
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