X荧光光谱/XRF(能量色散型X荧光光谱仪)
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IXRFX荧光光谱/XRF(能量色散型X荧光光谱仪), 本产品是把高性能的微型X射线管(两种可选)安装在SEM上,利用能谱仪探测器来接受信号,从而将XRF整合进SEM+EDS系统中,结合了EDS和XRF两者的优势。
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