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菲希尔X射线荧光测厚仪, XDV-µ型系列仪器是专为在极微小结构上进行高精度镀层厚度测量和材料分析而设计的。该系列仪器均配备用于聚焦X射线束的多毛细管透镜,光斑直径(FWHM)可达10至60µm。短时间内就可形成高强度聚焦射线。除了通用型XDV-µ型仪器,还有专门为电子和半导体行业而设计的仪器。如XDV-µ LD是专为测量线路板而优化的,而XDV-µ wafer是为在洁净间使用而设计的。
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