ESLICP-MS, NWR193HE是ESL公司研发出的以高能量准分子激光器为基础的剥蚀进样系统，专门用ICP、ICP-MS、惰性气体质谱、稳定同位素质谱和多接收质谱等仪器的固体进样。激光能量均匀稳定和193nm短波长能完美地剥蚀不透明和高度透明的材质。