InForce50载荷激发器 | InForce1000载荷激发器 | 高精度的纳米马达台 | ||
最大加载载荷: | 50mN | 最大加载载荷: | 1000mN | X 向最大行程:20 mm |
纵向载荷分辨率: | 3nN | 纵向载荷分辨率: | 6nN | Y 向最大行程:20 mm |
压头最大移动范围: | 50um | 压头最大移动范围: | 80um | Z 向最大行程:25 mm |
位移噪音背景: | <0.01nm | 噪音背景: | <0.1nm | Encoder X-Y-Z sensor resolution: 4 nm |
位移数字分辨率: | <0.002nm | 位移数字分辨率: | <0.004nm |
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