ETD-2000C 溅射蒸碳仪_参数指标

溅射气体

靶材

溅射电流

溅射速率

样品仓尺寸

样品台尺寸

工作电压

根据实验目的可添加氩气，氮气等多种气体。

标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。蒸发为碳绳

最大电流

50mA,最大工作电流30mA

优于4nm/min

直径160mm，高120mm

样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台

220V

(可做110V),

50HZ

需要镀膜的样品

电子束敏感的样品

非导电的样品

新材料

主要包括生物样品，塑

料样品等。S EM中的电

子束具有较高能量，在

与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部

分能量传递给样品。如

果样品是对电子束敏感

的材料，那这种相互作

用会破坏部分甚至整个

样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材

料制备的表面镀层就

可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料增加信噪比，从而获得更好的成像质量。

非导电材料实验电极制作观察导电特性

ETD-2000C 溅射蒸碳仪