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单轴Z向压电扫描台/纳米平移台

tel: 400-6699-117 1000

昊量光电其它光学测量仪, AU-NPS-Z系列单轴压电扫描台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。

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u  主要参数 

            产品

参数

AU-NPS-Z-15A

AU-NPS-Z-15H

AU-NPS-Z-500A


Material

Super   Invar (Bright nickel plated)

Super   Invar (Electroless nickel plated)

Titanium   and Aluminium Alloy


Size (mm)

51 long x 37 diameter

35 long x 34 diameter

60 x 49.5 x 30 mm


Range (mm)

Minimum

± 7.5

± 7.5


Typical

± 8.0

± 8

>500


Maximum





Resonant frequency: 0g load (Hz) /Typical

3500

900

200


Maximum Load

0.5 kg

0.5kg



Position noise(nmrms)

Fast

0.2

0.50


Medium

0.15

0.20


Slow

0.05

0.10



Linearity error (peak)

Minimum




Typical

0.01%

0.01%

0.01%


Maximum

0.02%

0.02%

0.1%



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