技术特点
【技术特点】-- 滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组,这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
技术参数
质量流量计 |
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控温软件 |
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总尺寸 |
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质保期和认证 | 一年质保期 (耗材部分:如炉管,“O”型高温密封圈,加热元件等不在保修范围)
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使用注意事项 |
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【技术特点对用户带来的好处】-- 滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
【典型应用举例】-- 滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
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