合肥科晶马弗炉/电阻炉/实验炉, 该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组，这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。