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小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

tel: 400-6699-117 1000

合肥科晶马弗炉/电阻炉/实验炉, 两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。

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  • 两个炉体在一个滑动轨道上,炉体最高工作温度1200℃

  • 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm

  • 一个滑动轨道安装在两炉体底部,可手动推动炉体滑动

  • 仪器中配有不锈钢密封法兰


总功率

2.5KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, (需要20A的空气开关)

最高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

加热&冷却速率

  加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C);  7°C/sec (250°C - 350°C);  4°C/sec (350°C - 500°C);  3°C/sec (350°C - 550°C);  2°C/sec (550°C - 650°C);  1°C/sec (650°C - 800°C);  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);冷却速率:15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C - 600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);注意: 最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的,将炉体加热到目标温度,然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后,滑动炉体,使样品暴露在加热区外,来实现快速冷却

 

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

  • 高纯石英管

  • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

温度控制系统

  • 两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。

  • 控温仪表操作视频

  • 设置有超温和断热偶报警

  • 包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)

  • 可选:可选择控制模块MTS-02,可使用电脑来控制炉体的升降温
     (点击图片查看详细资料)

真空法兰

  • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表

  • 可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),防腐型真空计
     

滑轨长度

1200mm

真空度

  • 10E-2 torr(采用机械泵)


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