测量范围:
可测量 电阻率:0.01~199.9Ω•cm。
可测方块电阻:0.1~1999Ω/口
当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.1mA~10mA分两档
10mA量程:0.1~1mA 连续可调
10mA量程:1mA ~10mA连续可调
恒流精度:各档均优于±0.1%
适合测量各种厚度的硅片
(3) 直流数字电压表
测量范围:0~199.9mv
灵敏度:100μv
准确度:0.2%(±2个字)
(4) 供电电源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用环境:
相对湿度≤80%
(6) 重量、体积
重量:2.2 公斤
体积:宽210×高100×深240(mm)
(7)KD探针头
压痕直径:30/50μm
间距:1.00mm
探针合力:8±1N
针材:TC
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四探针测试仪
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