技术特点
【技术特点】-- EMS150 T离子溅射镀膜仪
EMS150 T离子溅射镀膜仪的机壳是整体成型的,结构坚固耐用,配有气冷的70L/S的涡轮分子泵,自动进气控制保证了溅射期间最佳的真空水平,真空腔室直径为165mm并带有防爆装置。EMS150T具有“真空闭锁”功能,可在设备不工作时维持腔室的真空度,从而保证高真空的性能。
EMS150 T离子溅射镀膜仪系列全自动高真空离子溅射/热蒸发一体化镀膜仪给用户以类似傻瓜相机的简单操作、顶级的镀膜质量和对熟手/新手都很理想的用户界面,让用户真正领略至臻完美的镀膜品质!
EMS150 T离子溅射镀膜仪根据不同的应用方向,EMS150T细分为三个型号:
EMS150TS:高分辨率溅射镀膜仪High Resolution Turbomolecular Pumped Sputter Coater,可溅射易氧化和不易氧化金属,可选各种溅射靶材,包括场发射电镜常用的铱和鉻。
EMS150TE:高真空镀碳仪,可制作高稳定的碳膜和表面覆形膜,是TEM应用最理想的选择。
EMS150TES:集合了离子溅射和热蒸镀两种真空沉积镀膜方式,镀膜头可在几秒内快速更换,只能逻辑系统自动识别所装的镀膜头类型,并显示相应的操作模式。
注:上述各型号都可配备如下可选的附件:金属蒸镀、碳丝蒸镀、膜厚测量等
触摸屏控制:
EMS150 T离子溅射镀膜仪操作十分简单,直观的触摸屏,即使最不熟练的操作者也可以自由操作,同时可方便的键入和存储数据。为了方便使用,设备中已经预存一些了典型的溅射和蒸发镀膜参数资料。
镀膜插入头选项:
具有一系列可互换、即插即用的镀膜插入头
溅射插入头适用于易氧化和不易氧化金属材料,直径57mmX0.3mm厚鉻靶为标准靶材
可用另外的溅射插入头来快速更换镀膜材料(仅为TS和TES型号)
适用于3.05mm碳棒蒸发插入头
适用于6.15mm碳棒蒸发头,建议使用3.05mm直径的碳棒,它们更容易控制、更经济
碳丝蒸发插入头
金属蒸发和光阑洁净头,包括向上蒸发或向下蒸发(仅为TE和TES型号)
样品台选项
EMS150T具有各种易更换的样品台,drop-in落入式设计具高度可调(除旋转行星台)。
标准配置为旋转台, 直径为50mm
可预设倾斜角度的旋转台(可选)
可变角度旋转行星台(可选)
可用于4〞晶圆的平面旋转台(可选)
显微镜载玻片样品台(可选)
其它选项
用于高样品的加高腔室
膜厚监测器(FTM)
用于测量低和高真空的全范围真空计
特点和优点:
金属溅射或碳蒸发或两者兼备:一体化设计,节约空间
精细颗粒溅射:高分辨率场发射扫描电镜(FE-SEM)制样的精细镀膜应用
涡轮分子泵高真空系统:允许不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材的溅射镀膜,大大拓宽了可溅射靶材范围,既适合普通SEM、高分辨率FE-SEM镀膜制样应用,也为许多薄膜应用等材料科研领域提供理想的镀膜平台
全自动触摸屏控制:快速数据输入,简单操作
可储存多个客户自定义镀膜方案:对多用户实验室十分理想
与镀膜过程和镀膜材料相匹配的预编程自动真空控制
精细的厚度控制:使用膜厚监控选项
“智能”式系统识别:自动感知用户所装的插入式镀膜头的类型
高真空碳蒸镀:对SEM和TEM镀碳膜应用非常理想
蒸发电流波形控制
Drop-in落入式快换样品台(标配旋转台)
真空闭锁功能:可让工作腔室处于真空状态,改善后续真空效果,或在真空条件下保存样品
镀制厚膜能力:一次真空条件下的溅射时间可长达60分钟(材料科研领域的应用)
人体工程学设计的整体成型机壳:易维护和易拆装
带有本地FTP服务器连接的以太网端口:简单的程序更新
设有功率因素补偿,有效利用电能,降低运行成本
符合当前电器法规(CE认证)
【技术特点对用户带来的好处】-- EMS150 T离子溅射镀膜仪
【典型应用举例】-- EMS150 T离子溅射镀膜仪
离子溅射仪
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