技术特点
【技术特点】-- NRE-4000 (M) 反应离子刻蚀
铝质腔体或不锈钢腔体
不锈钢立柜
典型的硅刻蚀速率,400 ?/min
大自偏压
淋浴头气流分布
无绕曲气体管路
自动下游压力控制
双刻蚀能力支持:RIE以及PE刻蚀(可选)
终点监测
【技术特点对用户带来的好处】-- NRE-4000 (M) 反应离子刻蚀
【典型应用举例】-- NRE-4000 (M) 反应离子刻蚀
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