分辨率 | 高真空模式 3.0 nm (30 kV) 8.0nm(3.0 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
分辨率 | 低真空模式 4.0 nm (30 kV BED) |
放大倍率 | 5 ~ 300,000 倍 |
预设倍率 | 6 档(用户可以设定) |
电子枪 | 可以完全自动和手动调节 |
加速电压 | 0.3 kV ~ 30 kV |
灯丝 | 工厂预对中发卡式钨灯丝 |
束流电流 | 1 pA ~ 1 μA |
低真空压力设定范围※1 | 10 ~ 650 Pa |
聚光镜 | 高精度变焦聚光镜 |
物镜 | 锥形物镜 |
物镜光阑 | 3 档 带有XY 微调功能 |
像散记忆 | 有 |
图像电位移 | ±50 μm (WD 10 mm) |
自动功能 | 自动聚焦、 自动亮度/ 衬度、自动消像散 |
样品交换 | 打开样品室门进行交换 |
zei大样品尺寸 | 200 mm 直径 80 mm 高度 (WD10 mm) |
样品台 | 大型全对中测角样品台 X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm 倾斜:-10 ~ 90° 旋转:360° |
标准菜谱 | 有 |
图像模式 | 二次电子像、REF 像、成份像、形貌像、阴影像 |
比较窗口(屏幕快照) | 6 张(保存、调出、可以再现成像条件) |
OS | Windows7® |
显示器 | 23 英寸触摸屏 (显示器分辨率1,920 × 1,080) |
像素数 | 640× 480 1,280 × 960 2,560 × 1,920 5,120 × 3,840 |
图像显示模式 | (多分屏显示、全屏显示、灵活窗口显示、 信号叠加显示) |
数字图像调整 | 有(伽玛校正、伪彩色) |
直方图显示 | 有 |
测量功能 | 有 (两点间距离、平行线间距离、角度、直径等) |
3D 测量 | 有※2 |
互补色立体图像 | 有 |
图像编辑软件 | SMile View™ |
语言切换 | 可以在UI 上(日语/ 英语) |
图像格式 | BMP、TIFF、JPEG |
图像自动保存 | 有 |
抽真空系统 | 完全自动 TMP:1 台 RP:1 台或者2 台※1 |
真空模式切换 | 在操作界面上可以 |
*Windows7® 为美国微软公司的注册商标。
※1 LV 和LA 型为标配
※2 测量需要专用的软件
※ 产品外观及规格如有变更请恕不事先通告。
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