技术特点
【技术特点】-- NTE-3500 (A) 全自动热蒸发系统
最大可支持6“(150mm)的晶圆片
自动上下载片,带预真空锁
沉积速度可控
旋转的样品台
双坩埚
2KVA SRC控制电源
晶振式膜厚监控仪
通过LabView软件实现PC计算机控制
【技术特点对用户带来的好处】-- NTE-3500 (A) 全自动热蒸发系统
【典型应用举例】-- NTE-3500 (A) 全自动热蒸发系统
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