VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪

技术参数

1、电源电压：220V  50Hz

2、极限功率：<2KW（不含真空泵）

3、极限真空度：9.0×10^-4Pa

4、样品台加热温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）

5、靶枪数量：2个（可选配其他数量）

6、靶枪冷却方式：水冷

7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）

8、直流溅射功率：500W；射频溅射功率：300W。（靶电源种类可选，可选择两个直流电源，也可选择两个射频电源，或选则一个直流一个射频电源）

9、载样台：?140mm

10、载样台转速：1rpm-20rpm内可调

11、保护气体：Ar、N2等惰性气体

12、进气气路：质量流量计控制2路进气，一路为100SCCM，另一路为200SCCM。