技术特点
【技术特点】-- OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉
产品简介:OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉是一款快速蒸发管式炉,专门用于PVD或CSS法制作薄膜;其炉管外径为11″,炉管内载样盘可放置3″的圆形或2″×2″的方形基片;加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体顶端和底部,升温速率高达20℃/s;温控系统采用PID30段程序化控制,控温精度为±1℃,并且仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出。
产品型号 | OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉 |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC220V 50Hz(20A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头) 4、工作台:设备为落地式,占地面积1m2以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 | 1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上。 2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片(?76mm×0.5mm),使得样品基片上的温度更加均匀。 3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料。 4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr,通过分子泵真空度可达10-5 torr。 5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。 6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可以精确测量腔内真空度。 |
可选配件 | 1、PC控温软件 2、两路混气系统 3、多路浮子混气系统 4、多路质子混气系统 5、真空泵 6、水冷机 |
【技术特点对用户带来的好处】-- OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉
【典型应用举例】-- OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉
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