技术参数:
1. 靶:数量6个,大小1-2英寸,被激光照射时可自动旋转,靶的选择可通过步进电机控制。
2. 基板:采用适合于氧气环境铂金加热片,大小2英寸,加热温度可达1200摄氏度,温度差<3%,加热时基板可旋转,工作环境最大压力是300mtorr。
3. 基板加热电源。
4. 超高真空成膜室腔体:不锈钢sus304材质,内表面电解抛光,本底真空度<5e-7 pa。
5. 样品传输室:不锈钢sus304材质,内表面电解抛光,本底真空度<5e-5 pa。
6. 排气系统:分子泵和干式机械泵,进口知名品牌。
7. 阀门:采用超高真空挡板阀。
8. 真空检测:真空计采用进口产品
9. 气路两套:采用气体流量计(MFC)。
10. 薄膜成长监控系统:采用扫描型Rheed(可差分抽气)。
11. 监控软件系统:基板温度的监控和设定,基板和靶的旋转,靶的更换。
12. 各种电流导入及测温端子。
13. 其它各种构造:各种超高真空位移台,磁力传输杆,超高真空法兰,超高真空密封垫圈,超高真空用波纹管等。
感谢河南师范大学国家重点实验室, 清华大学先进材料重点实验室,北京大学微电子系 华中科技大学材料学院 使用此研究级高性能的PLD系统, 望我们高性能价格比的PLD为广大科研人员提供帮助!!
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 NBM microPLD 脉冲激光沉积系统 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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