泰思肯扫描电镜SEM, TESCAN GAIA3电镜系统完美的集成了超高分辨率的电子光学系统和高性能的离子束系统，二者配置于同一样品室上。GAIA3电镜以MAIA3场发射扫描电镜为平台，在保留MAIA3优越性能的基础上，增加了使用聚焦离子束进行样品表面处理的功能。GAIA3具有创新性的场发射电镜设计，低电压下仍具有出色的分辨率，大大提高了其成像能力。与一般电镜的电磁物镜相比，GAIA3具有较窄小的电磁物镜，同时InBeam-SE探头和InBeam-BSE探头的位置都位于透镜内，这些设计都为FIB及其他分析设备提供了充足空间，使之能够在样品表面完成多项工作。